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3D共聚焦顯微鏡的技術指標

 
    3D共聚焦顯微鏡用來測量表面物理形貌,進行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等??舍槍θ缦滦枨箝_展測試:如精密部件:檢測對表面磨損,表面粗糙度,表面微結構有要求的零部件,比如發(fā)動機汽缸、刀口等。

3D共聚焦顯微鏡的技術指標:

    1)光學相機(3CCD)拍攝分辨率不低于700萬像素;

    2)垂直方向測量范圍:>1.0mm

    3)Z軸行程:50 mm

    4)垂直分辨率:<10nm

    5)水平分辨率: 0.2μm



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